一種多晶硅片的清洗設備
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202020400662.9 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN211989971U | 公開（公告）日 | 2020-11-24 |
| 申請公布號 | CN211989971U | 申請公布日 | 2020-11-24 |
| 分類號 | B08B3/04(2006.01)I | 分類 | 清潔; |
| 發(fā)明人 | 黃賢強 | 申請（專利權）人 | 浙江溢閎光電科技有限公司 |
| 代理機構 | 浙江永航聯科專利代理有限公司 | 代理人 | 俞培鋒 |
| 地址 | 314302浙江省嘉興市海鹽縣澉浦長青路1號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型提供了一種多晶硅片的清洗設備，屬于機械技術領域。它解決了現有硅片清洗系統(tǒng)清洗效率較低等技術問題。本多晶硅片的清洗設備，包括底座，底座上設置有上料輸送帶和下料輸送帶，其特征在于，所述上料輸送帶和下料輸送帶之間設置有上料座、清洗槽一和清洗槽二，上料座、清洗槽一和清洗槽二依次固定在底座上，上料座上可放置有用于存放硅片的放料筐，上料座上還固定有用于定位放料筐的擋板，所述底座上還設置有用于運輸放料筐的運輸結構。本實用新型具有工作效率高的優(yōu)點。?? |
