一種用于多晶硅片的烘干設(shè)備
基本信息
申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202020401925.8 | 申請(qǐng)日 | - |
公開(公告)號(hào) | CN211876676U | 公開(公告)日 | 2020-11-06 |
申請(qǐng)公布號(hào) | CN211876676U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-11-06 |
分類號(hào) | F26B15/18(2006.01)I | 分類 | 干燥; |
發(fā)明人 | 黃賢強(qiáng) | 申請(qǐng)(專利權(quán))人 | 浙江溢閎光電科技有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 浙江永航聯(lián)科專利代理有限公司 | 代理人 | 俞培鋒 |
地址 | 314302浙江省嘉興市海鹽縣澉浦長(zhǎng)青路1號(hào) | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本實(shí)用新型提供了一種用于多晶硅片的烘干設(shè)備屬于機(jī)械技術(shù)領(lǐng)域。它解決了現(xiàn)有太陽(yáng)能硅片烘干爐對(duì)多晶硅片背面烘干效果較差等技術(shù)問(wèn)題。本用于多晶硅片的烘干設(shè)備,包括底座,其特征在于,所述底座上設(shè)置有用于輸送多晶硅片的輸送結(jié)構(gòu),底座上依次固定有用于烘干多晶硅片的烘干箱一和烘干箱二,底座上還設(shè)置有用于翻轉(zhuǎn)多晶硅片的翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu),所述翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括安裝座、安裝塊、兩個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)臂和兩個(gè)吸盤,安裝座固定在底座上,安裝塊位于烘干箱一和烘干箱二之間,安裝塊轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置在安裝座上,且安裝塊與一動(dòng)力結(jié)構(gòu)相連接,安裝塊的兩端分別與轉(zhuǎn)動(dòng)臂相連接,吸盤固定在轉(zhuǎn)動(dòng)臂上。本實(shí)用新型具有烘干效果好的優(yōu)點(diǎn)。?? |
