一種用于多晶硅片的脫膠機
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202020381340.4 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN211989983U | 公開（公告）日 | 2020-11-24 |
| 申請公布號 | CN211989983U | 申請公布日 | 2020-11-24 |
| 分類號 | B08B3/08(2006.01)I | 分類 | 清潔; |
| 發(fā)明人 | 黃賢強 | 申請（專利權(quán)）人 | 浙江溢閎光電科技有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 浙江永航聯(lián)科專利代理有限公司 | 代理人 | 俞培鋒 |
| 地址 | 314302浙江省嘉興市海鹽縣澉浦長青路1號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型提供了一種用于多晶硅片的脫膠機，屬于機械技術(shù)領(lǐng)域。它解決了現(xiàn)有自動化硅片脫膠機無法密封，在脫膠過程中會有酸氣的溢出等技術(shù)問題。本用于多晶硅片的脫膠機，包括底座，底座上固定有脫膠水槽，所述脫膠水槽上部具有開口，其特征在于，在底座上還固定有安裝支架，安裝支架上連接有安裝板，安裝板上固定有氣缸，氣缸的活塞桿上固定有蓋板，蓋板能將所述開口密封住，氣缸的活塞桿末端還固定有安裝架，安裝架通過安裝結(jié)構(gòu)設(shè)置有用于放置硅片的放置箱，所述脫膠水槽上開設(shè)有抽氣孔，抽氣孔與一抽氣管密封連通，抽氣管與一抽氣泵相連通，脫膠水槽上還設(shè)置有用于攪拌的攪拌機構(gòu)。本實用新型具有使用效果好的優(yōu)點。?? |
