利用低壓源形成氣體團(tuán)簇離子束的裝置和方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110415788.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113178372A 公開(kāi)（公告）日 2021-07-27
申請(qǐng)公布號(hào) CN113178372A 申請(qǐng)公布日 2021-07-27
分類(lèi)號(hào) H01J37/08（2006.01）I;H01J37/18（2006.01）I 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 曹路;宋鳳麒;劉翊;張同慶 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 江蘇集創(chuàng)原子團(tuán)簇科技研究院有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京瑞弘專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 陳建和
地址 210000江蘇省南京市浦口區(qū)橋林街道步月路29號(hào)12幢-500
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種形成具有多個(gè)氣體源的氣體團(tuán)簇離子束的方法，包括：提供減壓外殼；使用靜態(tài)泵將低壓過(guò)程源和高壓稀釋劑源混合以形成混合源，其中低壓過(guò)程源到靜態(tài)泵的輸送壓力大于約5托而小于約5托高壓稀釋氣體至靜態(tài)泵的輸送壓力大于約5巴且小于約30巴。使用混合源產(chǎn)生氣體團(tuán)簇射流，該混合源包括在減壓外殼內(nèi)的多個(gè)氣體團(tuán)簇；在減壓外殼內(nèi)提供電離區(qū)域；和引導(dǎo)氣體團(tuán)簇射流通過(guò)電離區(qū)域以使氣體團(tuán)簇射流中的至少一部分氣體團(tuán)簇電離以形成氣體團(tuán)簇離子束。