一種極紫外和軟X射線源的簇束產(chǎn)生方法與設備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110415781.0 申請日 -
公開（公告）號 CN113179573A 公開（公告）日 2021-07-27
申請公布號 CN113179573A 申請公布日 2021-07-27
分類號 H05G2/00（2006.01）I 分類 其他類目不包含的電技術;
發(fā)明人 曹路;宋鳳麒;劉翊;張同慶 申請（專利權）人 江蘇集創(chuàng)原子團簇科技研究院有限公司
代理機構 南京瑞弘專利商標事務所（普通合伙） 代理人 陳建和
地址 210000江蘇省南京市浦口區(qū)橋林街道步月路29號12幢-500
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種產(chǎn)生極端紫外線和軟X射線輻射的方法，包括以下步驟：使氣體混合物流到可加壓閥中，該氣體混合物包括團簇形成氣體，稀釋氣體和三元氣體，定義腔室的外殼與所述腔室連通的輸入通道，所述氣體流過所述輸入通道進入所述腔室，與所述腔室連通的輸出通道，以及一種溫度可控噴嘴，所述噴嘴具有氣體入口端，所述氣體入口端固定地附接到所述輸出通道，以及相對的氣體出口端，所述噴嘴具有設置在其內(nèi)的孔，所述閥包含在真空室內(nèi)；對包含在所述閥中的所述氣體混合物加壓；降低所述真空室中的壓力；將所述溫度控制噴嘴的溫度調(diào)節(jié)至適合于從所選擇的團簇形成氣體形成分子團簇的溫度。