一種改進(jìn)的載氣團(tuán)簇源發(fā)生方法與裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110415778.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113174572A 公開(kāi)（公告）日 2021-07-27
申請(qǐng)公布號(hào) CN113174572A 申請(qǐng)公布日 2021-07-27
分類(lèi)號(hào) C23C14/32（2006.01）I;C23C14/24（2006.01）I 分類(lèi) 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 曹路;宋鳳麒;劉翊;張同慶 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 江蘇集創(chuàng)原子團(tuán)簇科技研究院有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京瑞弘專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 陳建和
地址 210000江蘇省南京市浦口區(qū)橋林街道步月路29號(hào)12幢-500
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種載氣團(tuán)簇源裝置，用于向目標(biāo)提供團(tuán)簇，包括：用于產(chǎn)生簇束的束源裝置，所述束源裝置包括用于發(fā)射原子束的蒸發(fā)源裝置和氣體混合室，其中載氣與原子束混合以形成具有與原子團(tuán)混合的原子簇的簇束；載氣流量調(diào)節(jié)裝置，用于在形成簇之后調(diào)節(jié)簇束，使得基本上所有簇都處于液態(tài)；和發(fā)射裝置，其在撞擊目標(biāo)之前以幾乎所有的集群處于液態(tài)的方式將調(diào)節(jié)后的集群束的集群發(fā)射到目標(biāo)。