一種使用團簇束能量在表面上完成反應(yīng)與刻蝕的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110446787.4 申請日 -
公開（公告）號 CN113181855A 公開（公告）日 2021-07-30
申請公布號 CN113181855A 申請公布日 2021-07-30
分類號 B01J19/08（2006.01）I;H01L21/02（2006.01）I;H01L21/3065（2006.01）I 分類 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置;
發(fā)明人 曹路;宋鳳麒;劉翊;張同慶 申請（專利權(quán)）人 江蘇集創(chuàng)原子團簇科技研究院有限公司
代理機構(gòu) 南京瑞弘專利商標事務(wù)所（普通合伙） 代理人 陳建和
地址 210000江蘇省南京市浦口區(qū)橋林街道步月路29號12幢-500
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種使用團簇束能量在表面上完成反應(yīng)的方法，包括以下步驟：形成揮發(fā)性反應(yīng)物物種的簇，其包含2至約10,000個單元，每個單元包含反應(yīng)物物種；電離團簇向表面加速，并撞擊表面上的團簇，從而團簇分解并為表面的化學(xué)反應(yīng)提供反應(yīng)物和能量；其中每個單元是原子或分子；其中所有反應(yīng)物物種都包含在所述簇的單元中；其中至少一種反應(yīng)物包含在一個簇中，并且至少一種反應(yīng)物存在于表面上。