采用微波等離子體制備飽和氮雜硅酸鑭固體電解質(zhì)薄膜的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201210123116.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN102637889B 公開(kāi)（公告）日 2015-01-07
申請(qǐng)公布號(hào) CN102637889B 申請(qǐng)公布日 2015-01-07
分類號(hào) H01M8/10(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 黃志良;陳亞男;陳常連;王樹(shù)林;季家友;池汝安;魯冕;石月 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 武漢工大科技園發(fā)展有限公司
代理機(jī)構(gòu) 湖北武漢永嘉專利代理有限公司 代理人 武漢工程大學(xué);武漢化院科技有限公司
地址 430074 湖北省武漢市洪山區(qū)雄楚大街693號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及采用微波等離子體制備飽和氮雜硅酸鑭固體電解質(zhì)薄膜的方法，包括有以下步驟：1）取TEOS和La2O3，加入乙醇和硝酸加熱溶解，再加入去離子水制成混合溶液；2）氨水調(diào)節(jié)pH值，加熱攪拌，水浴加熱得到均勻溶膠；3）旋涂在玻璃片上，干燥，得到凝膠薄膜；4）將凝膠薄膜放入馬弗爐中煅燒，退火，得到初級(jí)薄膜；5）將初級(jí)薄膜放入微波等離子體化學(xué)氣相沉積裝置中，抽真空，微波功率500～800W反應(yīng)，得到次級(jí)薄膜；6）將次級(jí)薄膜，進(jìn)行燒結(jié)，即得。本發(fā)明的有益效果是:提高了電解質(zhì)的電導(dǎo)率，同時(shí)氮摻雜降低了電解質(zhì)的工作溫度（500℃～800℃），所得產(chǎn)品具有低活化能和高氧離子電導(dǎo)率，高效、無(wú)污染。