具有超結(jié)晶體管機(jī)構(gòu)的集成電路系統(tǒng)和其制造方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202011428328.5 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN112436052A | 公開（公告）日 | 2021-03-02 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112436052A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-03-02 |
| 分類號(hào) | H01L29/423(2006.01)I;H01L29/06(2006.01)I;H01L21/8234(2006.01)I;H01L21/28(2006.01)I;H01L27/088(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 蘇毅 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 南京紫竹微電子有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海容慧專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 于曉菁 |
| 地址 | 710018 陜西省西安市西安經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)草灘生態(tài)產(chǎn)業(yè)園尚稷路8928號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 一種包含分立柵極超結(jié)單元的集成電路系統(tǒng)，所述分立柵極超結(jié)單元包含：高度摻雜襯底，其包含第一極性；包含所述第一極性的外延層，其在所述高度摻雜襯底上生長(zhǎng)；條形柵極溝槽，其在所述外延層中形成；條形柵極多晶硅層，其在所述條形柵極溝槽中形成；包含第二極性的點(diǎn)主體植入物，其鄰近與所述條形柵極多晶硅層相對(duì)的所述條形柵極溝槽植入；以及包含所述第二極性的導(dǎo)電列，其在所述點(diǎn)主體植入物的中心中植入并且延伸到所述外延層中。?? |
