一種柵極電阻可調(diào)型超結(jié)功率器件及其制造方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110271644.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113035701A 公開(kāi)（公告）日 2021-06-25
申請(qǐng)公布號(hào) CN113035701A 申請(qǐng)公布日 2021-06-25
分類號(hào) H01L21/28;H01L21/336;H01L29/423;H01L29/78 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 胡瑋 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 重慶萬(wàn)國(guó)半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海精晟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 張仁杰
地址 400700 重慶市北碚區(qū)悅復(fù)大道288號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種柵極電阻可調(diào)的超結(jié)型功率器件及其制造方法，涉及功率器件半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，包括如下步驟：A、超結(jié)型功率器件元胞結(jié)構(gòu)的制備；B、接觸通孔的制備；C、金屬導(dǎo)線層的制備；D、鈍化層的制備。本發(fā)明通過(guò)設(shè)計(jì)可調(diào)節(jié)型柵極電阻結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)該器件在應(yīng)用中可基于應(yīng)用需求在一定柵極電阻范圍內(nèi)對(duì)柵極電阻進(jìn)行靈活的調(diào)整，進(jìn)一步提高器件的應(yīng)用范圍。通過(guò)柵極電阻控制極分別對(duì)每個(gè)獨(dú)立的柵極電阻進(jìn)行開(kāi)路控制以實(shí)現(xiàn)對(duì)柵極電阻的調(diào)整，避免了因不同的柵極電阻應(yīng)用需求導(dǎo)致的柵極、接觸通孔、金屬導(dǎo)線層版圖變更和重新制作掩模版，減少成本支出，提高器件的通用性。