一種溝槽功率器件與源極電容集成及其制造方法
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202011262093.7 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN112382613A | 公開（公告）日 | 2021-02-19 |
| 申請公布號 | CN112382613A | 申請公布日 | 2021-02-19 |
| 分類號 | H01L21/8234(2006.01)I; | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 趙毅;石亮 | 申請（專利權(quán)）人 | 重慶萬國半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海精晟知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 劉寧 |
| 地址 | 400700重慶市北碚區(qū)悅復(fù)大道288號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種溝槽功率器件與源極電容集成及其制造方法，涉及功率器件半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，包括如下步驟：A、元胞結(jié)構(gòu)的制備；B、溝槽功率器件的制備；所述溝槽功率器件包括接觸孔、鎢栓；C、ESD、集成電路接入溝槽功率器件；D、淀積鈍化層，蝕刻焊盤區(qū)域，打線封裝。本發(fā)明在溝槽功率器件制造的同時集成源極電容的制造。由于沒有增加掩模版，成本可控。集成電容的溝槽功率器件可以減少外接電容的使用，從而減小印刷電路板的使用面積，達(dá)到降低成本和設(shè)備小型化的目的。?? |
