高速巨量晶粒轉移設備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110708613.0 申請日 -
公開（公告）號 CN113471121A 公開（公告）日 2021-10-01
申請公布號 CN113471121A 申請公布日 2021-10-01
分類號 H01L21/677（2006.01）I;H01L21/78（2006.01）I;H01L33/00（2010.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 邱國誠;周峻民;李浩然;賴遠軍 申請（專利權）人 東莞市德鐫精密設備有限公司
代理機構 廈門市新華專利商標代理有限公司 代理人 吳成開;徐勛夫
地址 523000廣東省東莞市東城街道桑園工業(yè)路17號5棟
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種高速巨量晶粒轉移設備，包括有機架、控制器、玻璃移動裝置、激光器、CCD移動裝置以及晶圓移動裝置；該CCD移動裝置設置在機架上并位于玻璃移動裝置的側旁，CCD移動裝置與控制器連接；該晶圓移動裝置設置在機架上并位于玻璃移動裝置的側旁，晶圓移動裝置與控制器連接。通過設置有玻璃移動裝置、激光器、CCD移動裝置以及晶圓移動裝置，以及CCD移動裝置以及晶圓移動裝置均可在控制器的控制下以玻璃移動裝置中的玻璃為基準進行移動，并通過激光器將晶圓上的晶粒擊打到玻璃上，從而實現(xiàn)晶粒高速巨量的轉移，激光擊打的方式轉移晶粒的效果也更加穩(wěn)定，可避免晶粒尺寸和間隙問題，使得產品的良品率也更高，能有效保證產品的品質。