一種旋轉(zhuǎn)紫外曝光機(jī)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201810680434.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN108490745A 公開(kāi)（公告）日 2020-12-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN108490745A 申請(qǐng)公布日 2020-12-22
分類號(hào) G03F7/20 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 覃佐波;劉莎莉 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 合肥泰沃達(dá)智能裝備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京和信華成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 胡劍輝
地址 230012 安徽省合肥市新站區(qū)武里山路1399號(hào)鑫昊產(chǎn)業(yè)園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)一種旋轉(zhuǎn)紫外曝光機(jī)，包括轉(zhuǎn)運(yùn)臺(tái)、涂布機(jī)、曝光機(jī)；所述涂布機(jī)位于曝光機(jī)一側(cè)，轉(zhuǎn)運(yùn)臺(tái)依次穿過(guò)涂布機(jī)、曝光機(jī)，曝光機(jī)頂部設(shè)置有紫外光源發(fā)生器；曝光機(jī)中間設(shè)置有曝光空腔，曝光空腔內(nèi)設(shè)置有旋轉(zhuǎn)曝光器，旋轉(zhuǎn)曝光器通過(guò)光源入射器連接到紫外光源發(fā)生器；所述轉(zhuǎn)運(yùn)臺(tái)下表面安裝在第一底座橫梁、第二底座橫梁，第一底座橫梁設(shè)置在涂布機(jī)下方的涂布防震底座上；第二底座橫梁設(shè)置在曝光機(jī)下方的曝光防震底座上。本發(fā)明具有不需要曝光用掩模板、加工速度快、加工效率高、加工尺寸大、加工兼容性強(qiáng)的特點(diǎn)。