一種光譜-質(zhì)譜聯(lián)用裝置及檢測方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911119586.2 申請日 -
公開（公告）號 CN112816436A 公開（公告）日 2021-05-18
申請公布號 CN112816436A 申請公布日 2021-05-18
分類號 G01N21/39;G01N27/62 分類 測量；測試;
發(fā)明人 胡雪蛟;劉勝;向柳 申請（專利權(quán)）人 無錫米字科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市世聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 汪琳琳
地址 214000 江蘇省無錫市惠山經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)清研路2號A-303
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種光譜?質(zhì)譜聯(lián)用裝置及檢測方法，該光譜?質(zhì)譜聯(lián)用裝置包括相互連通的光譜分析模塊和質(zhì)譜分析模塊，所述質(zhì)譜分析模塊的工作負(fù)壓為所述光譜分析模塊的光譜分析提供真空環(huán)境；多組分混合氣體通過所述光譜分析模塊進(jìn)行光譜分析，以獲得多組分混合氣體樣品中的一部分組分的絕對濃度，再通過所述質(zhì)譜分析模塊對從光譜分析模塊輸出的多組分混合氣體樣品進(jìn)行質(zhì)譜分析，以獲得混合氣體樣品中待測組分的相對濃度。本發(fā)明提供的光譜?質(zhì)譜聯(lián)用裝置可以以較高的精度（PPM～PPB級別痕量分析）和高分辨率（不受背景氣體和雜質(zhì)干擾）實(shí)現(xiàn)快速便捷地實(shí)時(shí)在線分析混合氣體全部組分的濃度，同時(shí)使用便捷，無耗材，免維護(hù)，長期穩(wěn)定運(yùn)行。