一種可旋轉(zhuǎn)的膜厚補(bǔ)正板機(jī)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201720438557.2 申請日 -
公開（公告）號 CN206828627U 公開（公告）日 2018-01-02
申請公布號 CN206828627U 申請公布日 2018-01-02
分類號 C23C14/24(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 干黎明;龍汝磊;李剛正;裴蓓 申請（專利權(quán)）人 東莞匯馳真空制造有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海申蒙商標(biāo)專利代理有限公司 代理人 光馳科技（上海）有限公司;東莞匯馳真空制造有限公司
地址 200444 上海市寶山區(qū)寶山城市工業(yè)園區(qū)城銀路267號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及真空鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種可旋轉(zhuǎn)的膜厚補(bǔ)正板機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述可旋轉(zhuǎn)的膜厚補(bǔ)正板機(jī)構(gòu)包括旋轉(zhuǎn)部件、連接部件、補(bǔ)正板葉片和固定部件；其中所述旋轉(zhuǎn)部件經(jīng)由所述連接部件與所述補(bǔ)正板葉片連接，所述補(bǔ)正板葉片位于所述蒸發(fā)源與所述鍍膜傘架之間，所述旋轉(zhuǎn)部件通過所述連接部件驅(qū)動所述補(bǔ)正板葉片水平轉(zhuǎn)動，以實(shí)現(xiàn)所述補(bǔ)正板葉片對所述蒸發(fā)源的遮擋或暴露。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是：可以在同一個蒸發(fā)源位置上設(shè)置多個膜厚補(bǔ)正板，以滿足在同一個蒸發(fā)源位置上進(jìn)行蒸發(fā)特性不同的多種膜料鍍膜的需求。