MEMS氣體變送裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022932017.4 申請日 -
公開（公告）號 CN214174294U 公開（公告）日 2021-09-10
申請公布號 CN214174294U 申請公布日 2021-09-10
分類號 G01N33/00（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 汪獻(xiàn)忠;李建國;曹威;侯新梅 申請（專利權(quán)）人 河南省日立信股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 鄭州豫開專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 朱俊峰
地址 450001河南省鄭州市高新區(qū)玉蘭街101號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 MEMS氣體變送裝置，包括測量氣室、進(jìn)氣雙卡套接頭、出氣雙卡套接頭、壓力傳感器和MEMS氫氣濃度傳感器，測量氣室內(nèi)設(shè)有內(nèi)端口相互連通的進(jìn)氣孔、出氣孔、第一傳感器安裝孔和第二傳感器安裝孔，進(jìn)氣雙卡套接頭的一端安裝在進(jìn)氣孔的外端口內(nèi)，出氣雙卡套接頭的一端安裝在出氣孔的外端口內(nèi)，壓力傳感器的連接端安裝在第一傳感器安裝孔內(nèi)，MEMS氫氣濃度傳感器安裝在第二傳感器安裝孔內(nèi)。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單、體積小巧，便于安裝及拆卸，測量氣室內(nèi)部空間小，測量過程中氣體殘留少，且通過引入壓力傳感器，使得本實(shí)用新型測量速度迅速，測量數(shù)值準(zhǔn)確。