一種具有移動機械手的晶圓磨削設備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011084607.4 申請日 -
公開（公告）號 CN112207655B 公開（公告）日 2022-07-15
申請公布號 CN112207655B 申請公布日 2022-07-15
分類號 B24B7/22（2006.01）I;B24B29/02（2006.01）I;B24B55/00（2006.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 劉遠航;馬旭;趙德文;王江濤 申請（專利權）人 華海清科股份有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 300350天津市津南區(qū)咸水沽海河科技園聚興道9號8號樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種具有移動機械手的晶圓磨削設備，包括：設備前端模塊、磨削模塊、拋光模塊、以及，移動傳輸模塊，用于晶圓傳輸，其平行于拋光模塊設置并位于前端模塊和磨削模塊之間；其中，移動傳輸模塊包括移動存儲臺和移動機械手，移動存儲臺用于將晶圓從靠近設備前端模塊的第一位置運送至靠近磨削模塊的第二位置以及從第二位置運送回第一位置，移動機械手用于從設備前端模塊接收干燥的晶圓并將干燥的晶圓放置于移動存儲臺上以避免污染晶圓并降低晶圓在不同模塊之間傳遞的時間從而提高設備產(chǎn)能。