一種基板的銅互連鈷阻擋層

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110774652.0 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113278366B 公開(kāi)（公告）日 2022-05-20
申請(qǐng)公布號(hào) CN113278366B 申請(qǐng)公布日 2022-05-20
分類(lèi)號(hào) C09G1/02（2006.01）I;B24B37/04（2012.01）I;H01L21/768（2006.01）N;H01L23/522（2006.01）N 分類(lèi) 染料；涂料；拋光劑；天然樹(shù)脂；黏合劑；其他類(lèi)目不包含的組合物；其他類(lèi)目不包含的材料的應(yīng)用;
發(fā)明人 張力飛;王同慶;路新春 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 華海清科股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 100084北京市海淀區(qū)清華園1號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種基板的銅互連鈷阻擋層，其通過(guò)包括以下步驟的化學(xué)機(jī)械拋光方法拋光：a.配置化學(xué)機(jī)械拋光液，其中，所述化學(xué)機(jī)械拋光液含有1～10％的膠體二氧化硅、1?20mM/L的過(guò)硫酸鉀、1?20mM/L的苯并三氮唑以及余量的水和pH調(diào)節(jié)劑，使得所述拋光液pH值為10?11；b.以100?300mL/min的流量向化學(xué)機(jī)械拋光墊散布拋光液并對(duì)承載頭施加1?2psi的壓力，對(duì)基板的銅互連鈷阻擋層結(jié)構(gòu)進(jìn)行60?120s的化學(xué)機(jī)械拋光作業(yè)。