減震光刻機(jī)及其減震方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202011404941.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN112709778A 公開(kāi)（公告）日 2021-04-27
申請(qǐng)公布號(hào) CN112709778A 申請(qǐng)公布日 2021-04-27
分類(lèi)號(hào) F16F15/02;F16F15/023;F16F15/04;F16F15/06;F16M5/00;G03F7/20 分類(lèi) 工程元件或部件；為產(chǎn)生和保持機(jī)器或設(shè)備的有效運(yùn)行的一般措施；一般絕熱;
發(fā)明人 王智洋;張慶源;李群;王春霞 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 微控物理儲(chǔ)能研究開(kāi)發(fā)（深圳）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳國(guó)新南方知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 周雷
地址 518000 廣東省深圳市南山區(qū)粵海街道高新南區(qū)粵興三道虛擬大學(xué)園產(chǎn)業(yè)化大樓A區(qū)A605-607-M
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種減震光刻機(jī)及其減震方法，所述減震光刻機(jī)包括被動(dòng)隔振裝置、設(shè)于所述被動(dòng)隔振裝置上的飛輪減震裝置、設(shè)于所述飛輪減震裝置上的光刻機(jī)以及與所述被動(dòng)隔振裝置和所述飛輪減震裝置電連接的控制系統(tǒng)，所述飛輪減震裝置包括支撐所述光刻機(jī)且與所述被動(dòng)隔振裝置連接的第一平臺(tái)、與所述第一平臺(tái)遠(yuǎn)離所述光刻機(jī)一側(cè)相連的至少三個(gè)第一飛輪以及與所述第一飛輪輸出端電連接的雙向逆變器，三個(gè)第一飛輪的中心軸均不平行，雙向逆變器與所述光刻機(jī)的輸入端電連接，所述控制系統(tǒng)包括若干傳感器以及與所述傳感器和第一飛輪電連接的控制器。通過(guò)以上方式，可以完全消減被動(dòng)隔振裝置的帶寬限制，消除光刻機(jī)的擺動(dòng)，同時(shí)大大削弱了線性震動(dòng)。