減震光刻機及其減震方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011404941.3 申請日 -
公開（公告）號 CN112709778A 公開（公告）日 2021-04-27
申請公布號 CN112709778A 申請公布日 2021-04-27
分類號 F16F15/02;F16F15/023;F16F15/04;F16F15/06;F16M5/00;G03F7/20 分類 工程元件或部件；為產(chǎn)生和保持機器或設(shè)備的有效運行的一般措施；一般絕熱;
發(fā)明人 王智洋;張慶源;李群;王春霞 申請（專利權(quán)）人 微控物理儲能研究開發(fā)（深圳）有限公司
代理機構(gòu) 深圳國新南方知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 周雷
地址 518000 廣東省深圳市南山區(qū)粵海街道高新南區(qū)粵興三道虛擬大學園產(chǎn)業(yè)化大樓A區(qū)A605-607-M
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種減震光刻機及其減震方法，所述減震光刻機包括被動隔振裝置、設(shè)于所述被動隔振裝置上的飛輪減震裝置、設(shè)于所述飛輪減震裝置上的光刻機以及與所述被動隔振裝置和所述飛輪減震裝置電連接的控制系統(tǒng)，所述飛輪減震裝置包括支撐所述光刻機且與所述被動隔振裝置連接的第一平臺、與所述第一平臺遠離所述光刻機一側(cè)相連的至少三個第一飛輪以及與所述第一飛輪輸出端電連接的雙向逆變器，三個第一飛輪的中心軸均不平行，雙向逆變器與所述光刻機的輸入端電連接，所述控制系統(tǒng)包括若干傳感器以及與所述傳感器和第一飛輪電連接的控制器。通過以上方式，可以完全消減被動隔振裝置的帶寬限制，消除光刻機的擺動，同時大大削弱了線性震動。