一種可控晶面取向的薄膜材料及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111055113.8 申請日 -
公開（公告）號 CN113753847B 公開（公告）日 2022-07-01
申請公布號 CN113753847B 申請公布日 2022-07-01
分類號 B81C1/00（2006.01）I;B81B1/00（2006.01）I;B23K26/362（2014.01）I 分類 微觀結(jié)構(gòu)技術(shù)〔7〕;
發(fā)明人 張良靜;王萌;薛金星;周滄濤 申請（專利權(quán)）人 深圳技術(shù)大學(xué)
代理機構(gòu) 深圳市君勝知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 518118廣東省深圳市坪山區(qū)石井街道蘭田路3002號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種可控晶面取向的薄膜材料及其制備方法，包括：將飛秒激光聚集在襯底上，在襯底表面加工出三維結(jié)構(gòu)陣列；將飛秒激光聚集在三維結(jié)構(gòu)陣列上，在襯底表面加工出三維超潤濕模板陣列；將水溶性晶體顆粒滴加到三維超潤濕模板陣列上，并對襯底進(jìn)行加熱處理，得到可控晶面取向的薄膜材料；其中，三維結(jié)構(gòu)陣列包括若干三維結(jié)構(gòu)，若干三維結(jié)構(gòu)的尺寸和形狀由水溶性晶體顆粒的尺寸和形狀確定。本發(fā)明通過三維超潤濕模板陣列的超濕潤性吸附水溶性晶體顆粒，并利用加工區(qū)域與未加工區(qū)域的表面能差異，對水溶性晶體顆粒的擴散進(jìn)行限制，得到晶粒取向一致，尺寸大小均一的薄膜材料，薄膜生長速度快，制備方法簡單，制備過程不受材料和襯底約束。