適用于激光在線(xiàn)測(cè)厚的振動(dòng)補(bǔ)償方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010380375.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN111504206B | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-08-03 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN111504206B | 申請(qǐng)公布日 | 2021-08-03 |
| 分類(lèi)號(hào) | G01B11/06（2006.01）I | 分類(lèi) | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 周華民;宋華雄;楊志明;張?jiān)?周軍;王云明 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 深圳市信宇人科技股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 深圳市金筆知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | 胡清方;彭友華 |
| 地址 | 518000廣東省深圳市龍崗區(qū)龍城街道回龍埔社區(qū)鴻峰（龍崗）工業(yè)廠(chǎng)區(qū)2號(hào)廠(chǎng)房一樓、二樓、三樓、四樓 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明屬于薄膜制造加工過(guò)程中的在線(xiàn)檢測(cè)領(lǐng)域，更具體的，涉及一種適用于激光在線(xiàn)測(cè)厚的振動(dòng)補(bǔ)償方法。該方法包括以下內(nèi)容：（1）運(yùn)用激光在線(xiàn)測(cè)厚系統(tǒng)，在同一測(cè)量環(huán)境下，對(duì)待測(cè)帶材和高精度銅箔進(jìn)行在線(xiàn)掃描測(cè)量；（2）帶材和銅箔測(cè)厚數(shù)據(jù)中均包含掃描測(cè)量時(shí)的振動(dòng)誤差，銅箔制造精度高，數(shù)據(jù)中的誤差大部分是由振動(dòng)導(dǎo)致，而待測(cè)帶材也受到了相似的振動(dòng)影響；（3）對(duì)測(cè)厚數(shù)據(jù)進(jìn)行頻譜分析，觀(guān)察數(shù)據(jù)頻率組成信息；（4）對(duì)比分析待測(cè)帶材和銅箔頻譜的相似性，對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行適當(dāng)處理，很好地去除了振動(dòng)對(duì)在線(xiàn)掃描測(cè)厚的影響，實(shí)現(xiàn)了測(cè)厚數(shù)據(jù)的振動(dòng)補(bǔ)償和精度優(yōu)化。 |
