一種鈣鈦礦氣氛處理裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910151835.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN109950409A 公開(kāi)（公告）日 2019-06-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN109950409A 申請(qǐng)公布日 2019-06-28
分類(lèi)號(hào) H01L51/48（2006.01）I; H01L51/42（2006.01）I 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 王堉; 陳樂(lè)伍; 賴(lài)其聰; 周航 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 深圳市先進(jìn)清潔電力技術(shù)研究有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京卓嵐智財(cái)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 深圳市先進(jìn)清潔電力技術(shù)研究有限公司
地址 518100 廣東省深圳市龍崗區(qū)雅寶路1號(hào)星河WORLD一期A棟28層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種鈣鈦礦氣氛處理裝置，包括處理腔室、密封蓋，閥門(mén)、真空泵、氣體發(fā)生器和控制器部分；所述閥門(mén)與處理腔體連通然后連接真空泵，或者處理氣體，處理腔體有配套密封蓋，保證密封同時(shí)便于放取樣品，通過(guò)抽真空然后充入處理氣體的方式實(shí)現(xiàn)均勻處理，配合電控系統(tǒng)能實(shí)現(xiàn)精確控制，有利于得到均勻高質(zhì)量的鈣鈦礦薄膜，同時(shí)提高重復(fù)性和良率。