一種銦鎵磷異質(zhì)結(jié)雙極型晶體管及其制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610253781.4 申請日 -
公開（公告）號 CN105870166B 公開（公告）日 2019-02-12
申請公布號 CN105870166B 申請公布日 2019-02-12
分類號 H01L29/08;H01L21/331;H01L29/737 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 汪耀祖 申請（專利權(quán)）人 杭州立昂東芯微電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州杭誠專利事務(wù)所有限公司 代理人 杭州立昂東芯微電子有限公司
地址 310018 浙江省杭州市下沙經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)20號大街199號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種銦鎵磷異質(zhì)結(jié)雙極型晶體管及其制造方法。銦鎵磷異質(zhì)結(jié)雙極型晶體管從下至上依次包括襯底、重?fù)诫s次集電極區(qū)層、重?fù)诫s銦鎵磷蝕刻終止層、輕摻雜集電區(qū)層、基區(qū)層、輕摻雜銦鎵磷發(fā)射區(qū)層和重?fù)诫s發(fā)射帽層。本發(fā)明能夠有效提高異質(zhì)結(jié)雙極型晶體管的線性度和可靠性。