溝槽柵超結(jié)器件及其制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610942417.9 申請日 -
公開（公告）號 CN107994074A 公開（公告）日 2021-06-08
申請公布號 CN107994074A 申請公布日 2021-06-08
分類號 H01L29/78;H01L29/06;H01L21/336 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 肖勝安;曾大杰;李東升 申請（專利權(quán)）人 深圳尚陽通科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海浦一知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 郭四華
地址 518057 廣東省深圳市南山區(qū)高新區(qū)中區(qū)科豐路2號特發(fā)信息港B棟601-602單元
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種溝槽柵超結(jié)器件，P型柱分為接電極P型柱和浮空P型柱并組成步進(jìn)大于超結(jié)單元步進(jìn)的第一周期排列結(jié)構(gòu)，電極P型柱的頂部形成有延伸到N型柱的P型阱和連接到源極的接觸孔；浮空P型柱的頂部不形成P型阱和接觸孔。溝槽柵的長度方向和超結(jié)結(jié)構(gòu)的長度方向垂直并排列成步進(jìn)獨(dú)立調(diào)節(jié)的第二周期排列結(jié)構(gòu)。本發(fā)明還公開了一種溝槽柵超結(jié)器件的制造方法。本發(fā)明能夠提高器件的擊穿電壓和溝道密度和降低導(dǎo)通電阻，能在很低Vds下獲得更高的Crss且在較大的Vds范圍內(nèi)能使得Crss的下降比較緩慢，能減緩開關(guān)過程的速度、能有效降低器件在應(yīng)用電路中的電磁干擾性能以及有效降低器件在應(yīng)用電路中帶來的電流和電壓的過沖。