超結(jié)器件及其制造方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201710500170.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN109148555B 公開(kāi)（公告）日 2021-08-31
申請(qǐng)公布號(hào) CN109148555B 申請(qǐng)公布日 2021-08-31
分類(lèi)號(hào) H01L29/06;H01L29/78;H01L21/336 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 肖勝安;曾大杰;李東升;鄭怡 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 深圳尚陽(yáng)通科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海浦一知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 郭四華
地址 518057 廣東省深圳市南山區(qū)高新區(qū)中區(qū)科豐路2號(hào)特發(fā)信息港B棟601-602單元
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種超結(jié)器件，設(shè)置有環(huán)繞在電荷流動(dòng)區(qū)周側(cè)的保護(hù)環(huán)氧化膜，使JFET區(qū)域和源區(qū)都能實(shí)現(xiàn)全面注入，過(guò)渡區(qū)中的第二接觸孔的橫向尺寸大于電荷流動(dòng)區(qū)中的第一接觸孔的最小橫向尺寸，且保證第二接觸孔在比第一接觸孔多穿過(guò)一層保護(hù)環(huán)氧化膜的條件下具有較小的高寬比，從而既能提高第二接觸孔的面積從而提高過(guò)渡區(qū)的載流子收集能力，又能降低第二接觸孔的高寬比從而使得對(duì)較深深度的第二接觸孔進(jìn)行無(wú)針孔金屬填充。本發(fā)明還公開(kāi)了一種超結(jié)器件的制造方法。本發(fā)明能提高器件的抗雪崩擊穿能力，同時(shí)能防止在過(guò)渡區(qū)中接觸孔中出現(xiàn)金屬填充針孔，提高器件的可靠性，還能減少光刻層次，降低工藝成本。