超結(jié)器件及其制造方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201710500207.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN109148557A 公開（公告）日 2021-06-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN109148557A 申請(qǐng)公布日 2021-06-11
分類號(hào) H01L29/06;H01L21/337;H01L29/808 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 肖勝安;曾大杰 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳尚陽通科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海浦一知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 郭四華
地址 518057 廣東省深圳市南山區(qū)高新區(qū)中區(qū)科豐路2號(hào)特發(fā)信息港B棟601-602單元
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種超結(jié)器件，設(shè)置有環(huán)繞在電荷流動(dòng)區(qū)周側(cè)的保護(hù)環(huán)氧化膜，過渡區(qū)中接觸孔的高寬比大于等于電荷流動(dòng)區(qū)中接觸孔的高寬比，采用鎢塞工藝填充同時(shí)實(shí)現(xiàn)不同高寬比的接觸孔的可靠填充，P型阱的寬度小于P型柱的寬度，在P型阱和N型區(qū)域之間形成緩變結(jié)二極管。本發(fā)明還公開了一種超結(jié)器件的制造方法。本發(fā)明能在過渡區(qū)中接觸孔采用較高的高寬比時(shí)進(jìn)行可靠填充，能減少光刻層次，還有利于對(duì)接觸孔按照器件需要進(jìn)行布局，同時(shí)保證器件的抗雪崩擊穿能力不受過渡區(qū)的接觸孔工藝的影響，能減少所述P型阱對(duì)溝道區(qū)域位置處的N型區(qū)域的寬度的影響，使器件的導(dǎo)通電阻減少；能改善器件的輸出電容的非線性，改善器件應(yīng)用中的EMI問題。