一種絕緣密封結(jié)構(gòu)的MEMS電場(chǎng)傳感器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201720830018.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN207148228U 公開（公告）日 2018-03-27
申請(qǐng)公布號(hào) CN207148228U 申請(qǐng)公布日 2018-03-27
分類號(hào) G01R29/12 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 楊鵬飛;彭春榮;夏善紅;吳雙;劉宇濤 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 南昌中科飛龍傳感技術(shù)有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 代理人 北京中科飛龍傳感技術(shù)有限責(zé)任公司;南昌中科飛龍傳感技術(shù)有限責(zé)任公司
地址 100083 北京市海淀區(qū)成府路45號(hào)中關(guān)村智造大街C棟201號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種絕緣密封結(jié)構(gòu)的MEMS電場(chǎng)傳感器，包括：絕緣密封外殼，其內(nèi)部為空腔結(jié)構(gòu)；以及MEMS電場(chǎng)測(cè)量模塊，設(shè)置在所述空腔結(jié)構(gòu)內(nèi)，用于探測(cè)外界電場(chǎng)。