一種用于靶材的旋轉(zhuǎn)頂升系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202123281174.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN216473466U 公開（公告）日 2022-05-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN216473466U 申請(qǐng)公布日 2022-05-10
分類號(hào) C23C14/56（2006.01）I;C23C14/34（2006.01）I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 劉振波;茹鈺婷;郭小勇;邢珍帥;趙啟煥 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 湖州愛康光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 江陰市揚(yáng)子專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 313100浙江省湖州市長(zhǎng)興縣煤山鎮(zhèn)浙能智慧能源科技產(chǎn)業(yè)園浙江愛康光電科技有限公司廠區(qū)內(nèi)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種用于靶材的旋轉(zhuǎn)頂升系統(tǒng)，屬于太陽(yáng)能電池制造的技術(shù)領(lǐng)域。它包括旋轉(zhuǎn)軸和頂升軸；所述旋轉(zhuǎn)軸和頂升軸均設(shè)置在固定塊內(nèi)，所述旋轉(zhuǎn)軸和頂升軸上均沿螺旋狀排布設(shè)置有螺旋葉片，所旋轉(zhuǎn)軸與頂升軸的螺旋葉片之間為嚙合結(jié)構(gòu)，并在固定塊的內(nèi)側(cè)壁上設(shè)置有與螺旋葉片結(jié)構(gòu)匹配的螺旋狀卡齒；所述頂升軸的頂部設(shè)置靶材孔，所述靶材孔包括靶材放置位和頂升位；所述頂升位的內(nèi)徑與頂升軸相匹配；所述靶材放置位的內(nèi)徑大于頂升位，且與靶材相匹配；所述頂升位上方的一側(cè)設(shè)置離子槍。本實(shí)用新型采用旋轉(zhuǎn)頂升方式，在頂升靶材時(shí)，使靶材旋轉(zhuǎn)上升，使靶材圓柱體旋轉(zhuǎn)，各面都均勻燃燒，提高了靶材的利用率，還解決了透明導(dǎo)電膜色差問題。