用于測量氣浮系統(tǒng)中氣膜各種參數(shù)的測量裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201711277075.4 申請日 -
公開(公告)號 CN107941279B 公開(公告)日 2019-12-03
申請公布號 CN107941279B 申請公布日 2019-12-03
分類號 G01D21/02 分類 測量;測試;
發(fā)明人 黃斌;李程偉;徐筱波;陳梅仙;張勇 申請(專利權(quán))人 黃山市開發(fā)投資集團有限公司
代理機構(gòu) 合肥金安專利事務所(普通合伙企業(yè)) 代理人 合肥工業(yè)大學;黃山市開發(fā)投資集團有限公司
地址 230009 安徽省合肥市包河區(qū)屯溪路193號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及用于測量氣浮系統(tǒng)中氣膜各種參數(shù)的測量裝置。包括二維滑動工作臺、支架和底座;二維滑動工作臺包括電機、縱向滑板、橫向滑板和工作面板;二維滑動工作臺安裝在支架上,工作面板的工作面上設有微位移傳感器、壓力傳感器、溫度傳感器、薄片振動傳感器和薄片;在電機的作用下實現(xiàn)工作面板沿Z方向的移動;縱向滑板在橫向滑板上實現(xiàn)沿X方向的移動;支架在底板上實現(xiàn)沿Y方向的移動;測量時,被測的測量氣浮系統(tǒng)位于底座的支撐塊上,且被測的測量氣浮系統(tǒng)的氣浮板的頂面對應著工作面板的工作面。本發(fā)明實現(xiàn)了氣膜流場復雜三維流動各處的壓力、振動、溫度的測量,以及不同氣膜厚度氣膜流場的各參數(shù)測量問題。