一種用于測量玻璃基板氣浮系統(tǒng)節(jié)流板節(jié)流參數(shù)的裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201711139097.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN107655788B | 公開（公告）日 | 2019-10-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN107655788B | 申請(qǐng)公布日 | 2019-10-01 |
| 分類號(hào) | G01N7/00;G01N33/38;G01N35/00 | 分類 | 測量；測試; |
| 發(fā)明人 | 黃斌;陳梅仙;徐筱波;張勇 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 黃山市開發(fā)投資集團(tuán)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 合肥金安專利事務(wù)所（普通合伙企業(yè)） | 代理人 | 合肥工業(yè)大學(xué) |
| 地址 | 230009 安徽省合肥市包河區(qū)屯溪路193號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種用于測量玻璃基板氣浮系統(tǒng)節(jié)流板節(jié)流參數(shù)的裝置，包括氣浮系統(tǒng)、正壓進(jìn)氣測量裝置和負(fù)壓抽氣測量裝置。所述氣浮系統(tǒng)由底板、節(jié)流板以及面板裝貼合在一起組合而成。所述節(jié)流板上設(shè)置有若干對(duì)正壓進(jìn)氣節(jié)流通道和負(fù)壓出氣節(jié)流通道，所述正壓進(jìn)氣測量裝置和負(fù)壓抽氣測量裝置分別對(duì)正壓進(jìn)氣節(jié)流通道和負(fù)壓出氣節(jié)流通道進(jìn)行檢測。本發(fā)明通過正壓進(jìn)氣測量裝置和負(fù)壓抽氣測量裝置準(zhǔn)確測量出節(jié)流板的節(jié)流參數(shù)，篩選出合格的節(jié)流板，提高玻璃基板檢測的良品率；本發(fā)明對(duì)氣浮系統(tǒng)的使用以及節(jié)流板的制造都有一定的指導(dǎo)意義。 |
