一種柔性太陽能電池片銅銦鎵硒共蒸法的硒源加熱系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911206355.5 申請日 -
公開（公告）號 CN110957392B 公開（公告）日 2021-08-10
申請公布號 CN110957392B 申請公布日 2021-08-10
分類號 H01L31/18;H01L31/032;C23C14/06;C23C14/26;C23C14/54 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 羅明新;王培雙;任宇航 申請（專利權）人 尚越光電科技股份有限公司
代理機構 杭州知見專利代理有限公司 代理人 張華
地址 311121 浙江省杭州市余杭區(qū)五常街道余杭塘路1999號尚越綠谷中心1幢603室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種柔性太陽能電池片銅銦鎵硒共蒸法的硒源加熱系統(tǒng)，解決了目前銅銦鎵硒共蒸法的硒源加熱的熱場不均勻，硒蒸氣不穩(wěn)定，膜層均勻性不佳、成分偏差，甚至無法用于制造電池問題。本裝置包括內部裝有硒源的硒盒，硒盒頂面開設有硒蒸氣噴口，硒盒的頂面或者側面頂部設有可開合的硒源加料口，其特征在于：所述硒盒的頂面上方貼設有加熱器，環(huán)繞硒盒底面和所有側面設有溫控系統(tǒng)，溫控系統(tǒng)的溫度低于加熱器溫度。本發(fā)明對硒源采用上加熱、下冷卻的溫控方法，硒蒸氣從硒源上表面蒸發(fā)生成，生成的硒蒸氣平穩(wěn)，氣壓穩(wěn)定、線性可控，大大提高了硒源蒸發(fā)的穩(wěn)定性，提升產(chǎn)品質量。