柔性銅銦鎵硒薄膜太陽能電池沉積熱處理設備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011489439.7 申請日 -
公開（公告）號 CN112695277A 公開（公告）日 2021-04-23
申請公布號 CN112695277A 申請公布日 2021-04-23
分類號 C23C14/26;C23C14/52;C23C14/54;C23C14/56;C23C14/06;H01L31/18 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 朱路路;任宇航;羅明新;徐彩軍 申請（專利權(quán)）人 尚越光電科技股份有限公司
代理機構(gòu) 杭州知見專利代理有限公司 代理人 黃娟
地址 311121 浙江省杭州市余杭區(qū)五常街道余杭塘路1999號尚越綠谷中心1幢603室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種太陽能電池的處理設備。一種柔性銅銦鎵硒薄膜太陽能電池沉積熱處理設備，包括工藝腔，在工藝腔的兩側(cè)分別設有收卷腔和放卷腔，工藝腔、收卷腔和放卷腔上均連接有真空泵，待沉積熱處理的薄膜依次經(jīng)過放卷腔、工藝腔和收卷腔，在工藝腔和收卷腔之間設有升降門，在工藝腔和放卷腔之間也設有升降門。本發(fā)明提供了一種結(jié)構(gòu)簡單，不需要反復對沉積熱處理腔進行抽真空，生產(chǎn)效率高的柔性銅銦鎵硒薄膜太陽能電池沉積熱處理設備結(jié)構(gòu)；解決了現(xiàn)有技術(shù)中存在的沉積熱處理時，需要反復進行抽真空，生產(chǎn)效率低的技術(shù)問題。