一種CIGS共蒸法的卷對(duì)卷輸送同步控制結(jié)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202011592354.1 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN112663019A 公開（公告）日 2021-04-16
申請(qǐng)公布號(hào) CN112663019A 申請(qǐng)公布日 2021-04-16
分類號(hào) C23C14/56;C23C14/24;C23C14/06;C23C14/54;H01L31/18 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 王培雙;任宇航;羅明新;徐彩軍 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 尚越光電科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州知見專利代理有限公司 代理人 張華
地址 311121 浙江省杭州市余杭區(qū)五常街道余杭塘路1999號(hào)尚越綠谷中心1幢603室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種CIGS共蒸法的卷對(duì)卷輸送同步控制結(jié)構(gòu)，解決CIGS共蒸法卷在高溫、高腐蝕的非可視生產(chǎn)環(huán)境下，輸送輥的異常會(huì)影響鍍膜質(zhì)量，且難以及時(shí)發(fā)現(xiàn)的問題。本裝置包括真空腔，真空腔內(nèi)設(shè)置放卷軸和收卷軸，放卷軸和收卷軸之間收放輸送基底卷材，所述放卷軸和收卷軸之間設(shè)有若干輸送輥，每一個(gè)輸送輥的端部均沿軸向突出設(shè)置有半軸，所述半軸環(huán)周的一段是與輸送輥同軸線的半徑為R的圓柱面，半軸環(huán)周的其他位置與軸線的距離小于R，所述半軸一側(cè)設(shè)有頂針，所述頂針的尖端與輸送輥軸線距離為R。本發(fā)明通過半軸、頂針的配合結(jié)構(gòu)將輸送輥的轉(zhuǎn)動(dòng)周期信號(hào)轉(zhuǎn)化為方波輸出，通過方波周期及相位的分析，可以獲取轉(zhuǎn)速數(shù)據(jù)，檢測(cè)輸送輥的同步性。