一種CIGS共蒸法的紅外測(cè)溫裝置及其測(cè)溫控制方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202011603770.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN112525358B 公開（公告）日 2021-09-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN112525358B 申請(qǐng)公布日 2021-09-28
分類號(hào) G01J5/02（2006.01）I;G01J5/08（2006.01）I;G05D23/20（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 羅明新;張衛(wèi)彪;任宇航;詹華昭 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 尚越光電科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州知見專利代理有限公司 代理人 張華
地址 311121浙江省杭州市余杭區(qū)五常街道余杭塘路1999號(hào)尚越綠谷中心1幢603室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種CIGS共蒸法的紅外測(cè)溫裝置及其測(cè)溫控制方法，解決CIGS共蒸法不銹鋼卷基底測(cè)溫需求的問題。本裝置真空腔的上部作為沉積基底的不銹鋼卷，不銹鋼卷的上方設(shè)有加熱器，不銹鋼卷下方設(shè)有測(cè)溫機(jī)構(gòu)，測(cè)溫機(jī)構(gòu)包括密封的罩體，罩體上表面為高透玻璃板，罩體內(nèi)設(shè)有朝上設(shè)置的探頭，高透玻璃板上貼設(shè)有加熱板，罩體與真空腔下壁之間設(shè)有走線管，走線管內(nèi)穿設(shè)有連接探頭的光纖，走線管上盤設(shè)有水冷盤管。本發(fā)明可以采用探入式的紅外測(cè)溫探頭在近點(diǎn)對(duì)真空腔內(nèi)的不銹鋼卷進(jìn)行測(cè)溫控制利用加熱板對(duì)罩體進(jìn)行加熱，避免硒蒸氣沉積阻斷測(cè)溫光路，使本裝置能持續(xù)穩(wěn)定的對(duì)不銹鋼卷沉積段進(jìn)行溫度監(jiān)控，保障溫控系統(tǒng)的穩(wěn)定運(yùn)行。