三軸諧振電容式微機(jī)電加速度計(jì)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010945519.2 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN112014597A | 公開（公告）日 | 2020-12-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112014597A | 申請(qǐng)公布日 | 2020-12-01 |
| 分類號(hào) | G01P15/125(2006.01)I;G01P15/097(2006.01)I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 蘇巖 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 蘇州感測(cè)通信息科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 南京蘇科專利代理有限責(zé)任公司 | 代理人 | 蘇州感測(cè)通信息科技有限公司 |
| 地址 | 215000江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號(hào)納米城西北區(qū)02幢313室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明揭示了一種三軸諧振電容式微機(jī)電加速度計(jì)，包括由上至下按序?qū)盈B設(shè)置的上方蓋板層、平面結(jié)構(gòu)層以及下方基底層；平面結(jié)構(gòu)層內(nèi)包含有四組諧振式微加速度計(jì)，四組諧振式微加速度計(jì)以中心對(duì)稱的方式設(shè)置、共同完成對(duì)水平方向上加速度的檢測(cè)；上方蓋板層及下方基底層二者內(nèi)部均埋設(shè)有電極引線、作為固定基板，且上方蓋板層及下方基底層二者與平面結(jié)構(gòu)層中的敏感質(zhì)量塊共同構(gòu)成差分電容式微加速度計(jì)、對(duì)完成垂直方向上加速度的檢測(cè)。本發(fā)明通過采用面內(nèi)諧振式檢測(cè)X軸、Y軸，面外電容式檢測(cè)Z軸，且三軸均采用差分檢測(cè)的方式，使得三軸全解耦互不干擾，具有高精度、高穩(wěn)定性、體積小、環(huán)境依賴性小等特點(diǎn)。?? |
