高精度MEMS陀螺儀

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201920307708.X 申請日 -
公開（公告）號 CN209857909U 公開（公告）日 2019-12-27
申請公布號 CN209857909U 申請公布日 2019-12-27
分類號 G01C19/56（2012.01）; B81B7/02（2006.01） 分類 測量；測試;
發(fā)明人 蘇巖 申請（專利權(quán)）人 蘇州感測通信息科技有限公司
代理機構(gòu) 南京蘇科專利代理有限責任公司 代理人 蘇州感測通信息科技有限公司
地址 215123 江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號蘇州納米城西北區(qū)02幢313室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型揭示了一種高精度MEMS陀螺儀，包括硅基底及兩個質(zhì)量塊，兩個所述質(zhì)量塊對稱設(shè)置于所述硅基底上，還包括一干擾模態(tài)隔離結(jié)構(gòu)，兩個所述質(zhì)量塊均為框架結(jié)構(gòu)、由質(zhì)量塊外框及質(zhì)量塊內(nèi)框組合而成，兩個所述質(zhì)量塊外框分別與所述硅基底上的錨點相連接，兩個所述質(zhì)量塊內(nèi)框借助所述干擾模態(tài)隔離結(jié)構(gòu)相連接。本實用新型采用了一種組合梁式干擾模態(tài)隔離結(jié)構(gòu)，將目前具有解耦框架和差分結(jié)構(gòu)的MEMS陀螺儀的內(nèi)框架進行了連接，從而提高了驅(qū)動模態(tài)與檢測模態(tài)間的同向模態(tài)固有頻率，使驅(qū)動模態(tài)與檢測模態(tài)相鄰，實現(xiàn)了隔離干擾模態(tài)的效果。