三軸諧振電容式微機(jī)電加速度計(jì)
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | 2020219660199 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN212410634U | 公開（公告）日 | 2021-01-26 |
| 申請公布號(hào) | CN212410634U | 申請公布日 | 2021-01-26 |
| 分類號(hào) | G01P15/125(2006.01)I;G01P15/097(2006.01)I | 分類 | 測量；測試; |
| 發(fā)明人 | 蘇巖 | 申請（專利權(quán)）人 | 蘇州感測通信息科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 南京蘇科專利代理有限責(zé)任公司 | 代理人 | 姚姣陽 |
| 地址 | 215000江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號(hào)納米城西北區(qū)02幢313室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型揭示了一種三軸諧振電容式微機(jī)電加速度計(jì)，包括由上至下按序?qū)盈B設(shè)置的上方蓋板層、平面結(jié)構(gòu)層以及下方基底層；平面結(jié)構(gòu)層內(nèi)包含有四組諧振式微加速度計(jì)，四組諧振式微加速度計(jì)以中心對稱的方式設(shè)置、共同完成對水平方向上加速度的檢測；上方蓋板層及下方基底層二者內(nèi)部均埋設(shè)有電極引線、作為固定基板，且上方蓋板層及下方基底層二者與平面結(jié)構(gòu)層中的敏感質(zhì)量塊共同構(gòu)成差分電容式微加速度計(jì)、對完成垂直方向上加速度的檢測。本實(shí)用新型通過采用面內(nèi)諧振式檢測X軸、Y軸，面外電容式檢測Z軸，且三軸均采用差分檢測的方式，使得三軸全解耦互不干擾，具有高精度、高穩(wěn)定性、體積小、環(huán)境依賴性小等特點(diǎn)。?? |
