三軸MEMS陀螺儀

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010667627.8 申請日 -
公開（公告）號 CN111693036A 公開（公告）日 2020-09-22
申請公布號 CN111693036A 申請公布日 2020-09-22
分類號 G01C19/5656(2012.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 蘇巖 申請（專利權(quán)）人 蘇州感測通信息科技有限公司
代理機構(gòu) 南京蘇科專利代理有限責(zé)任公司 代理人 蘇州感測通信息科技有限公司
地址 215123江蘇省蘇州市中國（江蘇）自由貿(mào)易試驗區(qū)蘇州片區(qū)蘇州工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號蘇州納米城西北區(qū)13幢102室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明揭示了一種三軸MEMS陀螺儀，結(jié)構(gòu)包括基底以及四個質(zhì)量塊，四個質(zhì)量塊以中心對稱的方式懸浮設(shè)置于基底上，還包括用于實現(xiàn)基底與質(zhì)量塊二者間連接的錨點結(jié)構(gòu)、用于使質(zhì)量塊可沿正交方向振動的解耦連接梁結(jié)構(gòu)以及用于實現(xiàn)角速度檢測的梳齒結(jié)構(gòu)；每塊質(zhì)量塊均通過錨點結(jié)構(gòu)懸掛于基底上，四塊質(zhì)量塊之間通過解耦連接梁結(jié)構(gòu)實現(xiàn)連接，梳齒結(jié)構(gòu)布置于質(zhì)量塊內(nèi)。本發(fā)明采用了一種對稱式的四質(zhì)量結(jié)構(gòu)，其振動模態(tài)結(jié)合了音叉陀螺儀的高靈敏度和對稱結(jié)構(gòu)帶來的小頻差，兼具檢測靈敏度高及角度增益大的優(yōu)點。??