頂噴蝕刻機卡匣推進機構裝置
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201820495936.X | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN208014661U | 公開（公告）日 | 2018-10-26 |
| 申請公布號 | CN208014661U | 申請公布日 | 2018-10-26 |
| 分類號 | H01L21/67;H01L21/677 | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 曹乾;蒲中軍;徐曉君;王川;吳華毅;宣繼;李政昊;鐘耀 | 申請（專利權）人 | 成都工投電子設備有限公司 |
| 代理機構 | 北京天奇智新知識產權代理有限公司 | 代理人 | 楊春 |
| 地址 | 610512 四川省成都市新都區(qū)新都鎮(zhèn)白云路789號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型公開了頂噴蝕刻機卡匣推進機構裝置，推進機構安裝在清洗區(qū)，卡匣安裝于蝕刻區(qū)且與噴嘴產生的酸霧接觸，避免推進機構和蝕刻區(qū)噴嘴產生的酸霧接觸，增加推進機構的使用壽命；推桿的另一端與卡匣的一端中部連接，使推進機構的受力位置均勻，延長推進機構的使用壽命；使用本裝置后推進機構的使用壽命比單側推進的使用壽命、抗腐蝕性增加3倍，比兩側推進機構制作成本減少了1倍。 |
