頂噴式噴淋蝕刻機

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610552271.7 申請日 -
公開(公告)號 CN106186712A 公開(公告)日 2016-12-07
申請公布號 CN106186712A 申請公布日 2016-12-07
分類號 C03C15/00(2006.01)I 分類 玻璃;礦棉或渣棉;
發(fā)明人 蒲中軍;鄧飛;徐曉君;吳華毅;王川;宣繼;李政昊;郭繼永;鄧歡 申請(專利權(quán))人 成都工投電子設(shè)備有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 610512 四川省成都市新都區(qū)新都鎮(zhèn)白云路789號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 頂噴式噴淋蝕刻機,包括蝕刻機本體和藥液循環(huán)系統(tǒng),其中,蝕刻機本體主要由過渡區(qū)、清洗區(qū)及與蝕刻區(qū)組成,清洗區(qū)和蝕刻區(qū)上方均設(shè)置有噴淋裝置,過渡區(qū)和清洗區(qū)下方設(shè)置有同步帶傳送裝置,過渡區(qū)下方設(shè)置有伺服驅(qū)動電機,蝕刻機本體下方設(shè)置有貫穿過渡區(qū)、清洗區(qū)與和蝕刻區(qū)的滑軌,滑軌上放置蝕刻籃具,并由推桿將同步帶傳送裝置連接聯(lián)動,藥液循環(huán)系統(tǒng)主要由DI水罐體、化學(xué)藥液罐體、加熱槽以及相應(yīng)的管道、閥門以及循環(huán)泵組成;本發(fā)明在蝕刻玻璃面板的過程中,可以對藥液的溫度、壓力、流量等實行全自動控制,對蝕刻玻璃面板實現(xiàn)雙面瀑布流蝕刻,整個工作過程中,無需人工操作,清洗、蝕刻全部自動完成,蝕刻精度和效率得到顯著提升。