一種新型電致變色薄膜的制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910144105.7 申請日 -
公開（公告）號 CN109709737A 公開（公告）日 2019-05-03
申請公布號 CN109709737A 申請公布日 2019-05-03
分類號 G02F1/153（2006.01）I; G02F1/15（2019.01）I; C23C14/35（2006.01）I; C23C14/08（2006.01）I 分類 光學;
發(fā)明人 楊恢東; 夏錦輝; 李俊魁; 王菁; 彭斯冉; 張婧妍; 邵海平 申請（專利權）人 廣東諦思納為新材料科技有限公司
代理機構 廣州市華學知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 暨南大學; 廣東諦思納為新材料科技有限公司
地址 510630 廣東省廣州市天河區(qū)黃埔大道西601號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于電致變色無機薄膜技術，為電致變色薄膜的制作方法，步驟如下：洗凈的透明導電材料置于磁控濺射腔室內(nèi)，控制好濺射腔室的參數(shù)，控制好分子泵與真空濺射腔室之間的打通角度；對第一層膜生長的金屬靶材進行預濺射處理，打開基片擋板進行第一層膜的濺射生長處理，控制濺射功率和時間，讓第一層膜漲到合適厚度；在第一層無機電致變色薄膜的基礎上進行第二層膜生長，對第二層膜濺射的金屬靶材進行預濺射處理，控制讓第二層膜漲到合適的厚度。本發(fā)明利用磁控濺射的方法，在第一層電致變色薄膜基礎上漲一層具有電致變色性能的保護膜或良好離子傳導能力的保護膜，以獲得新型結構的電致變色薄膜，有效提高了單膜電致變色薄膜的電致變色性能。