一種噴頭清洗方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710295117.0 申請日 -
公開（公告）號 CN107267956B 公開（公告）日 2019-12-06
申請公布號 CN107267956B 申請公布日 2019-12-06
分類號 C23C16/44（2006.01）; C23C16/18（2006.01） 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 楊蘭; 趙陽; 王國行; 萬林; 胡加輝 申請（專利權）人 華燦光電股份有限公司
代理機構 北京三高永信知識產權代理有限責任公司 代理人 徐立
地址 430223 湖北省武漢市東湖新技術開發(fā)區(qū)濱湖路8號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種噴頭清洗方法，屬于金屬有機化合物化學氣相沉淀技術領域。所述噴頭清洗方法包括：配置清洗溶液，所述清洗溶液為NaOH溶液與H2O2的混合溶液；將所述噴頭浸泡在所述清洗溶液內進行超聲清洗；采用清水對所述噴頭進行超聲沖洗；采用N2或惰性氣體吹掃所述噴頭，然后再對所述噴頭進行烘干。該清洗方法不會腐蝕噴頭，而且能有效的清洗噴頭，并可在短時間內恢復到量產的水平，有效降低了恢復量產的時間成本。