一種渦流傳感器
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202210447738.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN114705115A | 公開（公告）日 | 2022-07-05 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114705115A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-07-05 |
| 分類號(hào) | G01B7/06（2006.01）I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 李坤;張康;李婷;張為強(qiáng);尹影;田知玲;張杰 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 北京晶亦精微科技股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京三聚陽(yáng)光知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 100176北京市大興區(qū)經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)泰河三街1號(hào)2幢2層101 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種渦流傳感器，控制模塊觸發(fā)波形生成模塊產(chǎn)生使線圈模塊諧振的正弦波形，線圈模塊諧振生成電流信號(hào)；信號(hào)傳輸模塊基于電流信號(hào)得到采樣電壓信號(hào)，信號(hào)傳輸模塊對(duì)采樣電壓信號(hào)進(jìn)行處理后發(fā)送至控制模塊；控制模塊根據(jù)接收處理后的采樣電壓信號(hào)，計(jì)算晶圓表面導(dǎo)電膜厚度值；線圈模塊內(nèi)部包括多個(gè)不同測(cè)量截面的線圈，在被測(cè)晶圓拋光過程中，對(duì)于拋光過程的每個(gè)階段，將對(duì)應(yīng)的測(cè)量截面的線圈切換至檢測(cè)回路中，從而實(shí)現(xiàn)針對(duì)不同的測(cè)量過程進(jìn)行時(shí)間分割，每個(gè)過程精確匹配電渦流傳感器的最佳線性、分辨率參數(shù)。 |
