一種渦流傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210447738.7 申請日 -
公開（公告）號 CN114705115A 公開（公告）日 2022-07-05
申請公布號 CN114705115A 申請公布日 2022-07-05
分類號 G01B7/06（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 李坤;張康;李婷;張為強;尹影;田知玲;張杰 申請（專利權(quán)）人 北京晶亦精微科技股份有限公司
代理機構(gòu) 北京三聚陽光知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 100176北京市大興區(qū)經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)泰河三街1號2幢2層101
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種渦流傳感器，控制模塊觸發(fā)波形生成模塊產(chǎn)生使線圈模塊諧振的正弦波形，線圈模塊諧振生成電流信號；信號傳輸模塊基于電流信號得到采樣電壓信號，信號傳輸模塊對采樣電壓信號進行處理后發(fā)送至控制模塊；控制模塊根據(jù)接收處理后的采樣電壓信號，計算晶圓表面導(dǎo)電膜厚度值；線圈模塊內(nèi)部包括多個不同測量截面的線圈，在被測晶圓拋光過程中，對于拋光過程的每個階段，將對應(yīng)的測量截面的線圈切換至檢測回路中，從而實現(xiàn)針對不同的測量過程進行時間分割，每個過程精確匹配電渦流傳感器的最佳線性、分辨率參數(shù)。