一種晶圓缺口檢測電路及裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210302115.0 申請日 -
公開（公告）號 CN114690026A 公開（公告）日 2022-07-01
申請公布號 CN114690026A 申請公布日 2022-07-01
分類號 G01R31/311（2006.01）I;G01N21/95（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 于靜;王文舉;田知玲;廉金武;趙磊;郭益言 申請（專利權(quán)）人 北京晶亦精微科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京三聚陽光知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 100176北京市大興區(qū)經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)泰河三街1號2幢2層101
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種晶圓缺口檢測電路及裝置，該電路包括：發(fā)射電路和接收電路，發(fā)射電路包括預(yù)設(shè)個數(shù)的發(fā)光電路，接收電路包括和發(fā)光電路對應(yīng)設(shè)置的預(yù)設(shè)個數(shù)的發(fā)光檢測電路，每個發(fā)光電路和發(fā)光檢測電路分別用于檢測不同規(guī)格的晶圓，且分別設(shè)置在待測晶圓的兩側(cè)；發(fā)光電路發(fā)出紅外光信號照射至待測晶圓邊緣，發(fā)光檢測電路接收經(jīng)過待測晶圓的紅外光信號，生成晶圓缺口模擬檢測信號輸出。通過實(shí)施本發(fā)明，在發(fā)射電路中設(shè)置發(fā)光電路，在接收電路中設(shè)置發(fā)光檢測電路，由發(fā)光檢測電路對發(fā)光電路發(fā)出的紅外光信號進(jìn)行檢測生成晶圓缺口模擬檢測信號，從而可以實(shí)現(xiàn)對晶圓缺口的檢測。發(fā)光電路和發(fā)光檢測電路設(shè)置多個，實(shí)現(xiàn)了對多種不同規(guī)格的晶圓進(jìn)行檢測。