一種晶圓缺口檢測(cè)電路及裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202210302115.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN114690026A | 公開（公告）日 | 2022-07-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114690026A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-07-01 |
| 分類號(hào) | G01R31/311（2006.01）I;G01N21/95（2006.01）I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 于靜;王文舉;田知玲;廉金武;趙磊;郭益言 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 北京晶亦精微科技股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京三聚陽光知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 100176北京市大興區(qū)經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)泰河三街1號(hào)2幢2層101 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種晶圓缺口檢測(cè)電路及裝置，該電路包括：發(fā)射電路和接收電路，發(fā)射電路包括預(yù)設(shè)個(gè)數(shù)的發(fā)光電路，接收電路包括和發(fā)光電路對(duì)應(yīng)設(shè)置的預(yù)設(shè)個(gè)數(shù)的發(fā)光檢測(cè)電路，每個(gè)發(fā)光電路和發(fā)光檢測(cè)電路分別用于檢測(cè)不同規(guī)格的晶圓，且分別設(shè)置在待測(cè)晶圓的兩側(cè)；發(fā)光電路發(fā)出紅外光信號(hào)照射至待測(cè)晶圓邊緣，發(fā)光檢測(cè)電路接收經(jīng)過待測(cè)晶圓的紅外光信號(hào)，生成晶圓缺口模擬檢測(cè)信號(hào)輸出。通過實(shí)施本發(fā)明，在發(fā)射電路中設(shè)置發(fā)光電路，在接收電路中設(shè)置發(fā)光檢測(cè)電路，由發(fā)光檢測(cè)電路對(duì)發(fā)光電路發(fā)出的紅外光信號(hào)進(jìn)行檢測(cè)生成晶圓缺口模擬檢測(cè)信號(hào)，從而可以實(shí)現(xiàn)對(duì)晶圓缺口的檢測(cè)。發(fā)光電路和發(fā)光檢測(cè)電路設(shè)置多個(gè)，實(shí)現(xiàn)了對(duì)多種不同規(guī)格的晶圓進(jìn)行檢測(cè)。 |
