一種化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備及其防碰撞方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210322378.8 申請日 -
公開（公告）號 CN114683174A 公開（公告）日 2022-07-01
申請公布號 CN114683174A 申請公布日 2022-07-01
分類號 B24B53/017（2012.01）I;B24B37/005（2012.01）I;B24B37/00（2012.01）I;B24B27/00（2006.01）I;H01L21/306（2006.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 王文舉;李婷;李偉;李久芳;廉金武;梅辰萌 申請（專利權(quán)）人 北京晶亦精微科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京三聚陽光知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 100176北京市大興區(qū)經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)泰河三街1號2幢2層101
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備及其防碰撞方法，化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備包括：工作臺、拋光墊、第一研磨裝置、第二研磨裝置、防碰撞傳感器以及運動控制器，第一研磨裝置包括第一擺動旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、第一擺臂和第一研磨頭，第一擺動旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)具有第一擺動電機(jī)；第二研磨裝置包括第二擺動旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、第二擺臂、第二研磨頭，第二擺動旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)具有第一擺動電機(jī)；防碰撞傳感器用于檢測第一研磨頭與第二研磨頭之間的距離；運動控制器與防碰撞傳感器通信連接，能夠在防碰撞傳感器檢測到第一研磨頭與第二研磨頭之間的距離小于等于第一預(yù)設(shè)值時，控制第一擺動電機(jī)和第二擺動電機(jī)停止運作。