一種厚度測(cè)量系統(tǒng)、方法、電子設(shè)備及存儲(chǔ)介質(zhì)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202210330645.6 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN114664685A 公開(kāi)（公告）日 2022-06-24
申請(qǐng)公布號(hào) CN114664685A 申請(qǐng)公布日 2022-06-24
分類號(hào) H01L21/66（2006.01）I;G01B7/06（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張康;李坤;李婷;張為強(qiáng);尹影;崔云承;吳燕林 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京晶亦精微科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京三聚陽(yáng)光知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 100176北京市大興區(qū)經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)泰河三街1號(hào)2幢2層101
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種厚度測(cè)量系統(tǒng)、方法、電子設(shè)備及存儲(chǔ)介質(zhì)，該系統(tǒng)包括：渦流傳感器、驅(qū)動(dòng)電路、采樣反饋電路和控制單元，渦流傳感器包括第一抽頭和多個(gè)第二抽頭；驅(qū)動(dòng)電路接收外部輸入的控制指令，根據(jù)控制指令生成振蕩電流，驅(qū)動(dòng)電路連接渦流傳感器，渦流傳感器根據(jù)振蕩電流生成交變磁場(chǎng)，根據(jù)交變磁場(chǎng)感應(yīng)待測(cè)樣品生成反饋值；采樣反饋電路采集渦流傳感器的反饋值，將反饋值輸入至控制單元，控制單元根據(jù)反饋值的變化控制渦流傳感器檔位的切換。本發(fā)明公開(kāi)的系統(tǒng)，通過(guò)在渦流傳感器中設(shè)置多個(gè)第二抽頭，可使樣品不同厚度時(shí)能夠匹配到線性度與分辨率最佳的諧振頻率與并聯(lián)電容，從硬件上實(shí)現(xiàn)寬厚度范圍內(nèi)的阻抗匹配和頻率選擇。