一種改性膠體量子點薄膜的聲表面波氣體傳感器及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911149230.3 申請日 -
公開（公告）號 CN110845152B 公開（公告）日 2022-03-08
申請公布號 CN110845152B 申請公布日 2022-03-08
分類號 C03C17/36（2006.01）I;G01N29/02（2006.01）I;H03H9/64（2006.01）I 分類 玻璃；礦棉或渣棉;
發(fā)明人 羅景庭;付琛;李慧;范平;鄭壯豪;梁廣興 申請（專利權(quán)）人 惠雨恩科技（深圳）有限公司
代理機構(gòu) 深圳市君勝知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 王永文
地址 518000 廣東省深圳市光明區(qū)鳳凰街道鳳凰社區(qū)觀光路招商局光明科技園A1A2棟A1棟1403
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種改性膠體量子點薄膜的聲表面波氣體傳感器及其制備方法，該方法包括步驟：A、提供聲表面波延遲線，在所述聲表面波延遲線的延遲區(qū)域涂覆膠體量子點溶液，形成膠體量子點薄膜；B、采用離子束或等離子體輻照膠體量子點薄膜，即得改性膠體量子點薄膜的聲表面波氣體傳感器。本發(fā)明通過采用離子束或等離子體輻照膠體量子點薄膜，可除掉膠體量子點薄膜中殘余的長鏈油酸和油胺，提高了膠體量子點薄膜的孔隙率，增加膠體量子點薄膜的比表面積，從而提高膠體量子點與被測氣體的接觸面積，極大提高了膠體量子點聲表面波氣體傳感器氣敏響應(yīng)，可實現(xiàn)亞ppm級別的高靈敏和快速檢測，在智能傳感器仿生嗅覺方面具有廣闊的應(yīng)用前景。