一種節(jié)能型半導(dǎo)體晶圓清洗機(jī)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202020523354.5 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN212264015U | 公開（公告）日 | 2021-01-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212264015U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-01-01 |
| 分類號(hào) | B08B3/10(2006.01)I | 分類 | 清潔; |
| 發(fā)明人 | 黃雷;周偉 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 成功環(huán)?？萍迹贤ǎ┯邢薰?/a> |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 215334江蘇省蘇州市昆山開發(fā)區(qū)澄湖路248號(hào)1號(hào)廠房 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種節(jié)能型半導(dǎo)體晶圓清洗機(jī)，包括殼體，所述殼體的下方設(shè)置有清洗殼，所述清洗殼的一側(cè)且位于所述殼體的下方設(shè)置有機(jī)殼；其中，所述殼體的底端開設(shè)有安裝腔，所述安裝腔的中間位置設(shè)置有凸起塊，所述安裝腔的內(nèi)部設(shè)置有傳動(dòng)鏈，所述傳動(dòng)鏈的底端對(duì)稱設(shè)置有一組安裝柱，所述殼體的頂端設(shè)置有與所述傳動(dòng)鏈相配合的傳動(dòng)電機(jī)，所述傳動(dòng)鏈的底端均勻設(shè)置有若干氣缸，所述氣缸的伸縮桿上設(shè)置有安裝板，所述安裝板的底端均勻設(shè)置有若干安裝夾；其中，所述清洗殼的內(nèi)部設(shè)置有驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述清洗殼的一側(cè)頂部開設(shè)有進(jìn)料。有益效果：大大的提高了風(fēng)干與吸塵的效率，同時(shí)減少了電力的損耗。?? |
