一種晶圓吸取裝置
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202020523357.9 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN211605122U | 公開（公告）日 | 2020-09-29 |
| 申請公布號 | CN211605122U | 申請公布日 | 2020-09-29 |
| 分類號 | H01L21/683(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 李云華;尹偉 | 申請（專利權(quán)）人 | 成功環(huán)?？萍迹贤ǎ┯邢薰?/a> |
| 代理機構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 215334江蘇省蘇州市昆山開發(fā)區(qū)澄湖路248號1號廠房 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型公開了一種晶圓吸取裝置，包括封裝機的傳送臺，傳送臺的頂端放置有工件，工件的下方設(shè)置有頂升板，頂升板的左側(cè)設(shè)置有接觸式傳感器，頂升板的底端中心位置設(shè)置有氣缸一，傳送臺的頂端一側(cè)設(shè)置有機架，機架的頂部對稱設(shè)置有滑軌，兩滑軌之間設(shè)置有絲桿，絲桿的一端連接有伺服電機，滑軌上滑動連接有拖板，且拖板與絲桿螺紋連接；拖板的頂部設(shè)置有行程氣缸，拖板上開設(shè)有燕尾滑槽，燕尾滑槽內(nèi)滑動連接有滑塊，滑塊的頂端與行程氣缸的活塞固定連接。有益效果：結(jié)構(gòu)緊湊，采用雙保險的設(shè)計，可以有效防止晶圓吸取過程中發(fā)生掉落的情況出現(xiàn)，同時減少了夾具在吸取晶圓時對晶圓的沖擊，以保證晶圓完好無損。?? |
