一種晶圓涂膠機(jī)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202020531153.X | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN212596775U | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-02-26 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212596775U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-02-26 |
| 分類(lèi)號(hào) | B05C5/02(2006.01)I;B05B15/55(2018.01)I;B08B5/02(2006.01)I | 分類(lèi) | 一般噴射或霧化；對(duì)表面涂覆液體或其他流體的一般方法〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 黃雷;谷建華 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 成功環(huán)保科技（南通）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 215334江蘇省蘇州市昆山開(kāi)發(fā)區(qū)澄湖路248號(hào)1號(hào)廠房 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種晶圓涂膠機(jī)，包括滴膠噴嘴，滴膠噴嘴的下方設(shè)置有外罩，外罩的內(nèi)側(cè)底部設(shè)置有升降器，升降器的頂端設(shè)置有驅(qū)動(dòng)環(huán)，驅(qū)動(dòng)環(huán)的頂端設(shè)置有與其相配合的內(nèi)罩，內(nèi)罩的內(nèi)部且位于滴膠噴嘴的下方設(shè)置有晶圓，晶圓的底端設(shè)置有底座，底座與內(nèi)罩從左至右依次設(shè)置有干燥噴嘴與清洗噴嘴，干燥噴嘴遠(yuǎn)離內(nèi)罩的一側(cè)與清洗噴嘴遠(yuǎn)離內(nèi)罩的一側(cè)分別均設(shè)置有活動(dòng)機(jī)構(gòu)；其中，活動(dòng)機(jī)構(gòu)包括與干燥噴嘴連接的支撐柱，支撐柱的底端設(shè)置有支撐座，支撐柱的頂部套設(shè)有圓柱齒輪，支撐柱的兩側(cè)且位于圓柱齒輪的下方設(shè)置有角度傳感器。有益效果：通過(guò)設(shè)置本實(shí)用新型，進(jìn)而提高清洗與干燥的效率。?? |
